二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9198969 待售

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ID: 9198969
Implanter Dual bellows extraction assembly With MRS assembly.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80离子植入器和监控器是一种灵活、可靠且经济高效的离子植入工具,可用于生产各种半导体器件。AMAT xR80以其独特的高吞吐量、高精度、低成本和可靠的结果相结合,为各种制造要求提供了出色的平台。APPLIED MATERIALS XR 80的主要部件是主单元、电子枪、腔室、疏散设备、控制界面和粒子探测器。XR 80的主单元由真空室、电子枪组成。电子枪负责产生能被室内受控装置获取和操纵的离子束。这是通过控制和改变离子束的能量和深度来完成的。AMAT/APPLICED MATERIALS XR 80的腔室内有许多负责生产和监测离子束操作的元件。这些包括电子透镜、数字控制器、离子监视器检测器和光束捕获系统。所有这些元件协同工作,产生一系列高度精确的离子束图样,可用于精密切割和操纵半导体基板。疏散单位负责维持室内真空。该机器能够产生适当操作应用材料xR80所必需的真空水平,并且在引入基板时可以密封腔室,以确保最佳的光束操作和操作结果。AMAT XR 80的控制界面为用户提供了一个图形用户界面,即GUI,可以用来监控光束特性,监控工具性能,以及控制设备操作的各个方面。此接口还允许通过测量值、探测器反馈和计算机网络的其他反馈对xR 80的操作进行外部监控。AMAT/APPLIED MATERIALS xR80的粒子检测器负责侦测因离子束结构不规则而可能发生的任何杂散粒子的存在。这对于控制关键应用中的离子束参数尤为重要。该探测器能够检测束杂质、小颗粒,还能够识别杂散颗粒的发射。最后,AMAT xR80离子植入器和监测器是生产和操作半导体器件的绝佳工具。它具有可靠的性能、高吞吐量和低成本的独特组合,是许多制造应用的理想选择。此外,人性化的控制界面、可靠的疏散资产以及粒子探测器,使得APPLIED MATERIALS XR 80成为任何半导体生产设施的绝佳补充。
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