二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #9199861 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一款高压植入器和显示器，旨在处理现代离子植入需求。该设备能够以高达10 kV的功率运行，目前的功率范围高达160 mA。它有一个内置的数字显示屏，可以用来监控和控制剂量、电流、电压和时间等参数。AXCELIS NV10-160具有直观的触摸屏界面。此界面使用户可以使用简单的菜单轻松设置、监视和调整系统参数。它还允许数据收集，监测和记录植入物运行，具有快速回忆以前的参数的简单设置和可重复性。此外,还可以为特定的应用程序或工艺配方定制接口。EATON NOVA NV 10160还包括一个多能量植入源，允许在单个电压循环中有多个能量水平。这允许更高质量的植入与较少的能量波动。该单元还提供了广泛的能量扩散和目标植入物配置文件，以改进控制，可重复性和准确性。AXCELIS NV 10-160能够支撑广泛的晶片、基板和模具。这允许植入一系列组件，包括内存芯片、逻辑IC、MEMS、MEMS-RF组件和其他栅极结构。该机提供了一系列的口罩和准直器，可用于集中离子流，提供比均匀植入更高的准确度。除了其难以置信的灵活应用的可能性，NV10-160还具有低温操作和低光束电流能力。这允许更苛刻，超精密的植入物，同时减少漂移和热应力对基板的影响。此外，该工具利用先进的安全功能和自动报警，以监测和保护植入过程的完整性。总体而言,EATON NOVA/AXCELIS NV10-160是一款商用级的顶级离子植入器和显示器,具有超高的精度和灵活性。其直观的触摸屏界面、多能量植入源、精确度、低温操作和安全措施，使其成为从内存芯片到MEMS-RF组件任何植入的理想选择。