二手 THERMA-WAVE DT-360 #9126377 待售

THERMA-WAVE DT-360是一种高端离子植入器和显示器，旨在最大限度地提高离子植入过程的效率。它主要用于半导体和微电子工业。DT-360提供了高效、精确和经济高效的离子植入解决方桉。THERMA-WAVE DT-360旨在满足离子植入过程的苛刻需求。它能够提供多达八种不同的射束选择，从高能射束到低能射束。这使DT-360能够实现广泛的植入深度。它还提供了可调的光束大小，这使得能够创建一个范围的掺杂或区域。THERMA-WAVE DT-360还配备了离子监控器设备，可以精确测量和控制植入物参数。用户可以监控光束大小、电流、电压、腔室气体、温度、植入时间和光束电荷水平。这样可以实现更一致的结果和对植入物轮廓的精确控制。DT-360还提供了较高的吞吐量速度,从而实现了更快、更高效的植入。这使得THERMA-WAVE DT-360需要高精度和高通量速度的过程的理想选择。此外,DT-360还有一个内置数据记录系统,可记录多达500次运行。该数据记录单元有助于提供所有植入的全面记录。这些数据可以被分析，以提供洞察离子植入器的性能和确定哪些过程是最有效的。THERMA-WAVE DT-360还配备了安全功能。它有一个内置的气体洗涤器，从腔室中清除不需要的颗粒。它还有一个紧急断电开关，在紧急情况下立即关闭整个机器。总体而言，DT-360是一个高度先进和可靠的离子植入器和显示器，旨在满足离子植入过程的需求。其可调的光束尺寸、内置的监控工具、高吞吐量速度和安全特性使其成为要求苛刻和精确的过程的理想选择。