二手 VARIAN 300XP #9103077 待售

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VARIAN 300XP
已售出
ID: 9103077
晶圆大小: 8"
Implanter, 8".
VARIAN 300XP离子植入器和监控器是一种先进的技术,它为用户提供了一种将杂质植入单晶基板以提高性能的可靠解决方桉。该离子植入器具有无与伦比的植入物参数控制功能,能够动态改变偏置电压、光束点强度和剂量持续时间。VARIAN 300 XP使用高电流、脉冲模式的光束传递高能原子种类,并配备了精密的固定式离子源和光束转向整形光学器件。设备可适应各种配置,如用等离子灰进行原位气体清洗、充值植入物、气体或液体扩散等。300XP采用了坚固、高性能的光束光学设计,可实现高达8微米光斑尺寸的精确光束聚焦和出色的均匀性。这提供了加速植入掺杂过程和高保真植入过程。此外,该系统还具有可配置的对齐转换,用于促进错综复杂的植入模式和对齐不准确。此外,300 XP还配备了一个在线法拉第杯监测装置,用于监测植入过程中的离子束,确保植入准确和可重复。VARIAN 300XP还提供了一系列可定制的安全选项,包括压力联锁,以防止意外接触带电粒子。还包括一个磁互锁机(MIS),当感应到磁干扰时关闭光束。此功能可确保刀具性能的完整性及其操作员的安全。为了确保过程的可重复性,资产提供自动化的过程补偿,包括剂量法、电流监测、基板数据收集和基板运动补偿。这有助于确保提供均匀、可重复的兴奋剂配置文件。该模型还具有全方位导航、入门级编程、宏编程、批处理等高级操作模式。VARIAN 300 XP是一种非常可靠且经济高效的离子植入解决方桉。该设备设计易于集成和操作,具有良好的控制、可重复性和安全性。所有这些先进的功能,300XP是一个极好的选择,任何离子植入应用。
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