二手 VARIAN 350DE #69341 待售

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ID: 69341
Mid current ion implanter, 4"-6" Set for Phosphine, BF3, and Arsine Standard configuration 1985 vintage.
VARIAN 350DE是一种全自动离子植入器和监控器,广泛用于高精度离子植入过程。其优越的精度和速度使其成为各种应用的理想选择,从微电子器件到材料研发。350DE具有先进的扫描控制和自动化功能,能够实现非常高的精度。可变植入参数可以精确调整,快速高效地产生所需的最终结果。该系统允许一个可调节的离子束点大小,允许不同的层和功能跨越晶片,而无需切换到不同的机器。VARIAN 350DE配备了高精度的离子源和监控器。利用独特的数字光束剖面可控离子源,精确度高,即使植入时间长,也能保持光束剖面稳定。此功能可确保植入的离子剂量始终保持在目标范围内,并且增加整个晶圆的植入均匀性。350DE提供可调节的植入参数范围,包括束电流、电压、束形状、停留时间和植入离子深度。该系统每秒最多可处理5,000个离子,因此非常适合高吞吐量应用。它还具有广泛的外部控制功能,允许在多个植入物运行中进行快速、高效的操作。VARIAN 350DE极其可靠且无维护,需要简单且不频繁的校准。它带有全面的文档和特殊的编程软件,因此用户可以轻松地控制和调整其植入过程的参数以获得最佳性能。总体而言,350DE是一种功能强大、用途广泛且高度精确的离子植入器和监视器,可为各种植入物应用提供精确和可靠性。它具有高速度、可靠的精确度和广泛的外部控制功能,是希望获得最佳植入效果的研究人员和工程师的理想选择。
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