二手 FEI Expida 1265 #9200544 待售

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ID: 9200544
晶圆大小: 12"
FIB / SEM Dual ion beam, 12".
FEI Expida 1265是一种双束离子铣削设备,设计用于为材料产生3维地下效果,而无需花费大量时间进行掩蔽或光刻技术。该系统有一个可变角度的球形离子束,利用溅射蚀刻和离子铣削技术来影响纳米级的材料,从而导致蚀刻、凋刻和凋刻详细形状和浮雕。该单元利用先进的数字伺服控制机制,使用户能够控制广泛的光束轮廓和角度,以产生精确和复杂的特征模式。该设备的最大光束扫描速度约为8 m/s,可实现各种材料(包括塑料、金属、陶瓷和半导体)的高通量加工过程。利用可变光斑大小和可编程电流,该机的加工能力在200 nm至2 µm之间。Expida 1265提供双束离子铣削功能,能够同时操作两个独立的束,从而实现非常精确的大面积图桉和凋刻。此外,由于其惯性设计低,该装置可以很容易地用于动态蚀刻和钻孔过程。该工具配备了一系列额外组件,如真空室和不同的真空泵,以实现完整的系统集成。资产还可以与现有系统集成,从而实现更大程度的控制和适应性。该模型提供了各种各样的命令和反馈设置,允许精确控制诸如溅射蚀刻持续时间、光束角度和电流水平等参数。全面的命令和设置范围使用户能够精细调整其过程参数,以生成精确、复杂的特征模式。直观的用户界面也简化了编程,为参数输入和机器控制优化了易于使用的图形界面。总体而言,FEI Expida 1265是一种先进的离子铣削设备,设计用于在材料基板上产生精确的特征图样。其双光束性能、可变光束角度和反馈设置范围使其成为各种纳米技术应用的理想选择。其高分辨率、精确度、低惯性设计和集成系统确保该系统能够提供精确、高质量加工过程所需的所有组件。
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