二手 PHILIPS / FEI Strata 400 #9207984 待售

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ID: 9207984
晶圆大小: 12"
Focused ion beam system, 12" Type: PW 2045/31 Includes: OXFORD 7455 EDS Omni probe.
PHILIPS/FEI Strata 400是一种离子铣削设备,用于制备用于纳米加工应用的样品。该系统由两个基本组件组成:Strata控制控制台和Strata处理器。Strata Control Console是一个高级的、基于触摸屏的界面,允许用户处理流程参数。Strata处理器是一个高性能的铣削和蚀刻单元,它包含三个独特的组件:铣削头、真空室和蚀刻源。FEI Strata 400的铣削头具有先进的设计,可产生最小的振动并在低噪声水平下运行。它由高档铝合金构成,显着增加了刚度和散热特性。铣削头还配备了一个可互换的特定于功能的主轴,可以根据应用程序根据需要将其切出。PHILIPS Strata 400的真空室是一个压力密封的外壳,以保护使用者免受环境的影响,从而提高安全性和准确性。腔室装有一个高精度操作的锁载端口门,使工艺温度和环境保持在10 x 10mm的精确范围内。此外,真空室还配备了室内、手动晶片加载能力,以及用于传输大型晶片的外部负载锁定端口。最后,Strata 400的蚀刻源是真空依赖源。该源提供了一种高质量、高精度的蚀刻梁,根据给定应用的需要进行调整。蚀刻源的高空间分辨率功能允许以非常高的精度形成细腻的3D结构。总体而言,PHILIPS/FEI Strata 400是一种领先的用于纳米加工应用的离子铣床。其先进的部件,如铣头、真空室和蚀刻源,结合起来提供了一个高度可靠、低振动、低噪声的环境。由于这些功能,FEI Strata 400在用户干预最少的情况下产生了高精度结果。
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