二手 GATAN 691 PIPS #9075091 待售

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ID: 9075091
Precision ion polishing system Ion source: Ion guns: (2) Penning ion guns Milling angle: +10i to -10i, (adjustable) Ion beam energy: 1.5 keV to 6 keV Beam diameter: 350 m FWHM at 5 keV to 800 m FWHM at 5 keV For broad beam guns Ion current density: 10mA/cm2 peak Beam alignment: Precision beam alignment Specimen stage: Sample size: 3 mm or 2.3 mm Mounting: Gatan patented DuoPost (standard) or Graphite holder (optional) Rotation: Variable from 1 to 6 rpm Beam modulation: Single or double sector for exceptional cross-sectioning Viewing: Binocular microscope: 40x or 80x Vacuum: Dry pumping system: Molecular drag pump Pressure: Base pressure: 5E-6 torr Operating pressure: 8E-5 torr Vacuum gauge: Penning type for main chamber Solid-state for backing pump Specimen airlock: GATAN Whisperlok Specimen exchange time: <30sec.
GATAN 691 PIPS是一种离子铣削设备,设计用于纳米加工设施。离子铣削是一种使用离子束从样品表面去除材料的过程,通常作为创建具有纳米级分辨率的特征的一系列步骤的一部分。这个特殊的系统是由电子显微镜、成像和分析仪器的领先制造商GATAN, Inc.开发和制造的。691 PIPS是适合高吞吐量、批处理应用的用户友好单元。它非常适合使用许多装有样品的装置来研磨阶段,并且能够将样品的五列阶段以一个运动或一个样品以一系列步骤定位。该机利用自动化控制器同时管理多达八支离子束喷枪,便于调节光束电流(离子铣削电流范围为0-15毫安)和调整光束角度。此外,该工具允许自动化样品加载、卸载、样品标识和严格的梁模式(以及所需的特定参数)。GATAN 691 PIPS提供了广泛的现场检查,进一步确保了离子铣削操作的准确性和可重复性。现场检查,包括目视检查(表面特征或缺乏表面特征)、光学显微镜(用于检查铣削工艺前后的样品表面)、二次电子显微镜(SEM)和扫描电子显微镜(SEM),以便进一步分析铣削表面。资产本身包括坚固的真空室、具有增强样品稳定性的优化样品级、用于样品级精确定位的可调步进电机、XYZ机械扫描仪、数字腔室控制器、自动控制器、自动对准模型,以及各种离子铣削枪以满足一系列要求。该设备设计有一个用于样品分析的光学端口、一个离子污染监测系统和一个气体输送单元,以加快氮化物蚀刻和表面清洁。有多种安全和过程控制功能,包括真空警报机、惰性气体处理系统和紫外线净化。此外,691 PIPS还配备了诊断程序,可帮助排除可能出现的任何潜在问题。GATAN 691 PIPS被认为是纳米加工应用的理想选择,提供卓越的精度、重复性和易用性。它的自动化功能简化了制造过程,而且其广泛的现场检查确保了准确性。
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