二手 VEECO Nexus IBE 350i #9186537 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

ID: 9186537
晶圆大小: 6"
优质的: 2007
Ion beam etching system, 6" Currently installed and stored in cleanroom 2007 vintage.
VEECO Nexus IBE 350i是由VEECO Instruments Inc制造的离子束蚀刻(IBE)设备。该系统利用独特的离子铣削工艺在纳米范围内的基板上绘制表面图样。IBE是一种专门的蚀刻器,利用高能离子从基板表面去除材料。这一工艺允许去除具有出色蚀刻选择性和高分辨率特征的硅、砷化的、聚合物、金属和介电材料等材料。该单元首先用高能离子束轰击材料表面。这些离子穿透表面,导致化学键断裂,从底物中释放物质。此过程称为溅射,占蚀刻过程的大部分。Nexus 350i利用特殊的双光束机,可以同时进行溅射和蚀刻。这允许更快的蚀刻时间和改进的过程控制。除了双束工具外,Nexus 350i还凭借其获得专利的离子束二极管技术能够输送高水平的离子电流。这项技术能够产生几瓦/平方厘米或更高的极高离子电流密度。这种高水平的电流与极好的精度相结合,使得蚀刻分辨率小于0.2nm的特征成为可能。Nexus 350i还具有两个主腔室,可实现最佳应用多功能性。主室用于蚀刻,副室用于溅射。这两个腔室都装有两个光源,用于光束控制和阵列设计。资产现在与先进的自动化控制模型集成在一起,该模型允许轻松设置和过程参数调整。总之,Nexus IBE 350i是一种先进的离子铣削蚀刻器,能够在快速蚀刻的情况下产生高精度和高分辨率。双梁设备和先进的IBE技术为系统提供了最佳的性能和精度,使其能够用于各种蚀刻应用。
还没有评论