二手 BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE #9169035 待售

BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE Wafer Handler是一种高度可靠、超精确的晶圆处理设备,能够执行各种晶圆处理操作。该系统旨在承受洁净室环境，每小时可处理多达三百五十个晶圆。该单元包括一个晶片固定器,根据客户的需要,该晶片固定器可安全存储和传输直径为8 ″、12 ″或16 ″的12个CMOS晶片。光学编码器用于跟踪每个晶片的精确位置，以确保晶片的精确传输。晶片支架和其他部件由不锈钢外壳覆盖，以增强洁净室的适用性。PRE-201B-CE Wafer Handler包括一个可以执行一系列操作的机械臂组件。伺服电动机用于为机器人提供动力，机器人能够沿两个轴线移动其末端效应器，这些轴线配有可旋转360度的接头，用于精确晶圆传输。还包括一个精确编码器，以确保机器人的精确运动，在处理过程中最大化效率和准确性。此外，机器还包括一个交互式图形界面，让操作员能够快速、轻松地控制工具。该接口还允许操作员查看和跟踪资产活动,使他们能够快速识别故障或问题。为了加强安全，还包括一个紧急停止按钮，可以在发生紧急情况时停止所有模型活动。此外,BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE Wafer Handler还配备了一个集成式空气机柜,可对其进行编程,其温度和湿度参数分别为-20°C至45°C和0-95% RH,从而可以更好地控制晶圆处理环境。总之，PRE-201B-CE Wafer Handler是一种有效可靠的设备，用于清洁环境中的各种晶圆处理操作。该系统配备了一系列功能,例如强大的机械臂装配、精确的编码器、交互式图形界面和集成的空气机柜,使其成为任何洁净室的强大而准确的资产。