二手 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign #9149904 待售

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign是一款先进的掩模对齐器，旨在应对现代半导体器件制造的挑战。其紧凑的设计、坚固的性能和易于使用的用户界面使其成为基于胶片和光刻技术的理想解决方桉。该装置的主要特点是对准精度，提供亚微米分辨率的结果。在对准时，系统利用双聚焦透镜，产生垂直于晶圆轴的聚焦平面和等于晶圆大小的视场。这有助于确保对齐和配准的最高精度。此外,它的机动化XY级精度为0.1mm,可确保在记录小几何形状（如粘合垫、触点和线）时具有很高的性能。BSL Micralign还具有光束调制功能,以减少曝光误差和需要单独的快门。这样可以缩短曝光时间,降低长时间曝光热点和冷点的风险。此外，它的动态标线位置测量确保了标线放置的准确性，补偿了遮罩中的任何运动。该装置还设有一个石英灯监测系统，用于监测灯的强度，以尽量减少不同工艺步骤之间的曝光变化。对于每个工艺条件,可以自动调整灯的最佳曝光水平。它还包括一个自动扁平剂，补偿任何表面的不规则性，提供一个均匀的扁平场和减少扭曲。最后，BETA SQUARED LITHOGRAPHY Micralign设计了一系列安全特性，如紧急停止、激光锁定和电磁场保护。该系统还带有用户数据保护功能,允许安全存储和处理敏感用户数据。总体而言,Micralign是一款先进的掩码对齐器,为半导体器件制造提供高精度、准确性和可重复性。紧凑的尺寸、坚固的设计和简单的用户界面使其成为基于胶片和光刻技术的理想解决方桉。