二手 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600 #9157842 待售

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600是为高精度光刻设计的最先进的掩模对准设备。系统围绕一个4轴级构建，加上大真空和压力室。高分辨率数码成像单元将3000万像素工业CCD相机与精密镜头相结合，达到高水平的对准精度。该机器能够对准和解析低至0.1微米的特性,精度为30 nm （3 sigma）。此外,BSL PE 600还配备了一个加热的静电卡盘和真空卡盘,能够将温度控制在0.5C内,使该工具成为蚀刻和曝光时间敏感过程的理想工具。此外，资产还配备了能够自动对齐和成像的软件，使用户能够获得精确和可靠的结果。BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600是一款先进的掩模对齐器，旨在满足半导体制造的要求。其高度通用的设计提供了一系列曝光选项,包括常规接触打印、近距离打印和各种其他形式的图样传输。此外，其先进的成像和对准模型使复杂结构的高分辨率图样化成为可能。最后，设备的高精度级和温度控制能力使其成为蚀刻和沉积工艺的理想选择。PE 600具有高精度和先进的特性,是精密的掩模对齐器应用的理想选择。