二手 CANON MPA 500 Fab #9193702 待售

CANON MPA 500 Fab是一种全自动、高吞吐量的晶圆级掩模对齐器，旨在提供各种晶圆尺寸和应用的设备的最佳生产。该设备采用CANON专有的MPA Fab技术，能够高精度地对极小的特征尺寸进行光刻和对准。CANON MPA 500FAB具有高通量生产过程,可提供高对齐速度精度和吞吐量以及无与伦比的精度。其先进的飞行激光对准系统（FLA）提供了具有标准掩蔽数据的激光突出晶片特征的快速、精确对准，红外激光成像技术以高分辨率准确捕获了对准目标和掩蔽数据。该装置的特点是有一台精密的成像机器，从掩模内检测对准目标，并补偿视场中的任何不均匀性。该工具还可以配置多扫描选项,以快速进行单次曝光。该资产还具有超短脉冲持续时间激光二极管曝光系统，可提供对特征细节的精确控制。其可调波前传播保证了激光曝光的精确控制和均匀性。MPA-500FAB还提供了专用的抗蚀剂涂层模型,可确保多晶硅、ITO和有机聚合物等多种材料的电气成像条件。总体而言,MPA 500-FAB是一种超快速掩模对齐器,旨在提供精确和高精度的光刻工艺。其独特的功能集使其能够高效、准确地生产各种晶圆尺寸和应用的设备。这些设备可以很容易地集成到现有生产线中，以提高生产率和节省成本。