二手 CANON PLA 501 F #9198627 待售

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CANON PLA 501 F
已售出
製造商
CANON
模型
PLA 501 F
ID: 9198627
Aligner With stripped spare parts.
CANON PLA 501 F是半导体工业中用于光刻应用的最先进的掩模对齐器。它利用步进和重复成像以及精密显微技术来提供亚微米分辨率。501F的慢动作工作台使用户能够在半导体晶片之上精确放置和对齐光掩模。它配备了6轴运动控制系统,确保最佳的扫描精度和可重复性。此外,高速快门投影仪还可以快速准确地放置光掩模。501F的曝光范围很广(因此支持多种源晶片和光掩模)。它还支持步长和重复成像(带全场图像)以及可变长度串行成像(用于较小的高密度场图像)。掩模对准器还能够进行高精度的网状对准,以精确定位光掩模和晶片。CANON PLA-501F内置了多种安全功能,包括自动真空互锁,确保操作员在掩模对准过程中安全。此外,设备还配备了多个紧急开关,以便操作员在发生紧急情况时关闭系统电源。该501F还具有一个用户友好界面,允许创建和修改掩码布局文件。直观的软件程序允许操作员快速轻松地定义自定义掩码参数,如字段大小、曝光级别和焦点范围。这有助于优化性能并提高工作效率。总体而言,PLA 501F是一种最先进的掩模对齐器,它提供了多种功能,使其成为半导体行业的理想选择。它提供卓越的扫描精度和可重复性,以及各种安全功能。直观的软件程序简化了操作,有助于提高生产效率。归根结底,501F为光刻应用提供了优化的解决方桉。
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