二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9082394 待售

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ID: 9082394
晶圆大小: 4"
Mask aligner, 4" 6" Capable (With kit) Topside alignment / Exposure only With 1000W lamp Split field microscope Power supply: 350 / 500 / 1000.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一款高性能、顶级的掩模对齐器。它的特点包括模块化设计、自动化编程和对齐,以及一系列令人印象深刻的光学、检测系统和工程级组件。MICROTEC MA6提供了大量的对准类型,包括光学对准、接触对准、纳米对准和蚀刻对准。KARL SUSS MA-6的对准精度非常精确,配准在3微米以内。这为各种应用程序提供了额外的精细齿轮阵列、线宽和阵列对齐要求。MICROTEC MA 6配备了10倍物镜变焦镜头和4倍物镜变焦镜头等多种光学元件。它从晶片到光学元件的工作距离也是可调的,使其能够进行接触对准。利用光学显微镜,它能够复制高度或直径小至30微米的特征。MICROTEC MA-6还具有多种检测系统,可确保精确的模式对齐。例如,它的红外相机使用LED灯进行微探测和超灵敏对准,最大分辨率为6微米。为确保最大精度,KARL SUSS MA 6采用工程级组件。它由200瓦照明器提供动力,步进电机的速度高达20毫米/秒。除了自动编程、立体声显微镜和其他分级系统外,您还可以确保超精确的模式对齐。MA 6掩模对准器可在3微米内精确度执行多种不同的对准类型。它采用模块化设计,并采用复杂的光学、检测系统和工程级元件阵列,为超精细齿轮阵列和阵列对准解决方桉提供了无与伦比的精度。
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