二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9182874 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是用于制造集成电路的最先进的掩模对准器。它旨在提供高精度和灵活性。这是一个全场光学遮罩对准与5µm分辨率，低热漂移和步进和重复对准设备。MICROTEC MJB3工具具有具有多基板处理功能的7轴机器人对准系统。该设备在封闭环境中运行,可容纳200 mm以下的晶圆尺寸。真空卡盘能够保持0.003"至0.075"的晶片厚度。KARL SUSS MJB3的自动对准机允许精确的现场对准生产。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的自动对焦工具自动调谐对准，以补偿变化的晶圆和基板厚度。软件根据用户设置调整对齐设置,并提供晶圆和掩码对当前设置的直接反馈。KARL SUSS MJB 3还配备了先进的倾斜泛化和图像的拉伸或移位，使掩模与晶圆精确对齐。MICROTEC MJB-3具有一种新的高速曝光资产,具有可自定义的曝光参数。曝光模型基于紫外线光源,在9.5英寸x 9.5英寸的磁场尺寸上提供线性紫外线曝光。集成的实时反射计监视曝光强度和设置，并在相应调整曝光时间的同时中继此信息。KARL SUSS/MICROTEC MJB3还配备了各种安全特性和内置传感器。激光测光仪测量能量密度时不会中断工作流,确保永远不会超过能量水平。MICROTEC MJB 3的人员联锁和闪存驱动器访问控制限制了对对齐站的访问,以提高安全性。总之，MJB3是集成电路生产中高精度、高灵活性的绝佳选择。其先进的对准设备、紫外线曝光和安全特性使KARL SUSS MJB-3成为要求苛刻且不断变化的集成电路行业的理想选择。