二手 ACCRETECH / TSK Win-Win 50-A5000 #9178496 待售
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ID: 9178496
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Wafer inspection system, 12"
Software version: 7.1.0.0
Hardware configuration (Fab):
Main system:
Main body
12" FOUP System:
(2) TDK
Handler system:
(1) Wafer handing robot
Process Chms:
(1) Inspection unit
(1) Operator console
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
IPU (Images processing unit)
Fan box (Blower)
UPS
A5000 Configuration:
FOUP: Shin-Etsu
Process gasses:
Process gas 1: PIVAC
Process gas 2: CDA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 12" Semi standard notch
FOUP Type: Shin-Etsu
(25) Cassette wafers
(2) Cassette storages
System controls:
Signal tower colors: G/G/R/B
General pressure display units: Pressure Mpa
Host communications:
Host communications: User host computer
Information transfer protocol: GEM-SECS
Facility electrical equipment:
2-Line power input
200 VAC, 3 Phase
2007 vintage.
ACCRETECH/TSK Win-Win 50-A5000 Mask&Wafer Inspection Equipment是一种综合性、高精度的工具,旨在为检查半导体mask和晶圆缺陷提供全面的解决方桉。该系统设计坚固可靠，具有很高的准确性和可靠性。它提供了一整套功能,可帮助诊断任何类型的掩码、晶圆或光电设备缺陷。该装置采用先进的检测技术，将显微镜成像机与聚焦离子束和原子力显微镜技术相结合。这种集成允许在分析到纳米级的结构以及检测不可见的缺陷或变形时提供更高层次的细节。成像工具由一个可指定的扫描区域组成，具有光学和X射线功能，以及自动调整视野。该资产还提供具有并行成像模型的高级SEM/FIB成像,以及用于无缝图像染色的自动缝合功能,使其成为返回复杂或困难缺陷的大量数字图像的理想选择。TSK Win-Win 50-A5000配备了高精度扫描精度，适合严格的质量控制和生产职责。它还有一个自动化和高度精确的对准设备，加上匹配的图像采集功能，可以检测到掩模或晶片形状的非常小的变形。该系统可以准确读取蚀刻轮廓、蚀刻角度和蚀刻下沉。此外,该单元能够准确快速地检测掩模或晶片中的任何结构异常,如缺陷、裂纹和非均匀形状。此外,ACCRETECH Win-Win 50-A5000提供了多种功能强大的内置工具,可帮助简化掩码和晶圆缺陷检测和分析。这包括一套用户友好的扫描和数据比较功能,以及一整套用于准备和跨网络连接传输数据的软件工具。此外,内置的光学散射和反射（OSR）探测器提供了多种操作模式,有助于识别和区分光滑表面中最小的缺陷。总体而言,Win-Win 50-A5000 Mask&Wafer Inspection Machine提供了强大的功能包,使用户能够以最高的准确性和可靠性识别和解决几乎任何类型的半导体mask或wafer缺陷。该工具经过优化,可在研发和生产环境中使用,确保最大程度的生产力、成本效益和质量保证。
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