二手 ADE / KLA / TENCOR AWIS Constellation #9190875 待售

ADE/KLA/TENCOR AWIS Constellation是为半导体生产而设计的掩模和晶圆检测设备。它是用于分析各种晶圆几何、缺陷和其他特征的工具。系统使用自动缺陷审查、晶圆验证、过程控制和缺陷审查功能来确保高精度。该单元由一台高分辨率、自动检测机、ADE AWIS星座平台和各种工具组成，可用于数据分析。KLA AWIS Constellation Platform是一种高速扫描工具，可以检查高端特性，以便检测和测量可能存在的任何缺陷。资产能够检测晶圆表面上的小缺陷,如亚微米缺陷,以及任何与设计模式不一致的特征。利用TENCOR AWIS Constellation Platform，该模型执行自动缺陷审查、晶圆验证、平衡分析和缺陷验证，为用户提供有关晶圆内缺陷的高度详细信息。该设备还包括一个基于Web的Web浏览器工具，使用户能够快速比较、解释和共享结果。该系统还包括一个光谱样本库，可以用来根据它们的行为和发生来预测未来的缺陷。该单元还可以使用预定义的模型光谱剖面来检测和表征难以找到的特征和异常。此外,该机器还提供了缺陷消除、缺陷检查、缺陷级别控制以及缺陷特征检测和测量的指标。对于高级用户来说，该工具包括支持3 D蒙版检查和晶圆检查的高级功能集，具有多个照明角度、自动缺陷分类和粒子缺陷分析，以及缺陷3 D重建。最后，该资产与一系列半导体器件制造工艺兼容，使其成为一种多种器件制造的多合一掩模和晶圆检测解决方桉。此外,该模型经过认证并获得了全球业界的认可。AWIS Constellation的综合功能集是半导体器件制造过程中管理和检验晶圆特性的重要工具。