二手 EPI 930 #9171186 待售

EPI 930是由Riber, Inc.製造的分子束外延（MBE）设备。它是一种多柱高真空处理系统，能够以最高的质量和极高的精度生长外延材料。它通常用于制造集成电路、太阳能电池和其他光电器件。930具有六列或"海鸥翼"布局,使其非常适合多层生长,如超晶格或异质结构。柱子的位置使得各种积液池、源、枪、阀都集中在单元中央。这使得所有试剂都能以最小的损耗通过平行路径到达底物。这又使用户能够发展各种材料,如GaAs和InP。该机器具有高真空环境（<1E-9毫巴）,并使用由冷陷阱和离子吸收器支撑的涡轮分子泵不断过滤和调节。这使得尽可能清洁的增长环境能够最大限度地提高质量和精度。此外，远程腔室底压监测器可确保平衡压力始终保持不变。此外，在EPI 930中集成了低速多晶硅源，以更好地控制生长层的背景掺杂。为控制温度和促进生长，930具有低热质量电子束蒸发器、锁载晶片加热器和气体剂量工具。锁载晶片加热器与基板直接接触，保证精度和均匀加热。它能够承受高达700 °C的温度，允许用户生长各种半导体、金属和合金。此外，一个集成的软件控制器允许从一个单一的中央控制台容易和精确的操作试剂。这样可以降低操作成本和减少材料浪费。此外,EPI 930资产建立在无振动的空气浮动基础上,可防止任何基于运动的错误。这使得精度和产量达到最高水平。总体而言,930是一种先进的多列MBE模型,能够制造高精度集成电路、太阳能电池和光电器件。这种设备能够以极好的精度和较低的操作成本制造各种材料。