二手 RIBER CBE-32 #9133521 待售

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製造商
RIBER
模型
CBE-32
ID: 9133521
晶圆大小: 5", 2"x1
Reactor, 5", 2" x 1 Solid source :Si, Al, Ga, In×2, Be×2 Gas source: AsH3, PH3 Chambers: entrance, transfer, growth PHEEd, PYRO, LN2 liquid separate Scrubber for gas.
分子束外延(MBE)是一种用于原子、分子和团簇薄膜晶体生长的技术。RIBER CBE-32 MBE设备是一种坚固耐用的设备,专为提供高质量和高精度的薄膜而设计。本文介绍了一系列基于硅的、可互换的半导体、金属、电介质等材料沉积源、多级步进自动晶圆换热器、高容量液氮冷却传递室、精确的温度控制。低温束外延技术(CBE)的先进技术通过使用"在非常低的温度下注入基板的Ar气体"来提供高度精确的薄膜。这种方法将气体在非常低的温度下燃烧,形成具有所需性能的优质材料层。CBE-32系统是建立在这种技术的基础上,以实现高效和可重复的性能。RIBER CBE-32单元能够通过使用可编程的加热和冷却循环以及精确的机械设计,产生具有极好的均匀性和重复性的高质量层。它还具有多级真空泵机、先进的控制器和数字读数以及实时温度控制。由于其独特的技术,该工具具有很高的沉积速率,并以0.05 nm的精度提供层控制。该资产采用符合人体工程学的设计,用户友好,便于使用,提高了流程效率。CBE-32还具有确保设备可靠性和可持续性的全面安全和维护功能。此外,由于其洁净室设计和尖端吸尘室,该模型受到保护,免受污染。总之,RIBER CBE-32是一种用途极为广泛、效率极高的分子束外延设备,可提供高质量的薄膜,具有极好的均匀性和可重复性。它还提供先进的温度控制、多级真空泵送系统、可编程的加热和冷却周期以及方便用户的清洁室设计,以提高性能。CBE-32是业界最可靠的薄膜沉积系统之一。
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