二手 RIBER EVA 32 #9197264 待售

RIBER EVA 32是一种先进的分子束外延（MBE）系统，用于将包括III-V、II-VI在内的优质无机材料和氧化物外延生长到底物上。它能够对材料的生长结构进行原子和表面控制。EVA 32配备了多个、独立、最先进的腔室，旨在为各种异质结构和纳米结构的外延生长提供最大自由度。该系统是由几个超高真空模块组成的阵列，每个模块都装有高精度、低温电阻加热器。个别模块包括主源腔、两个积液池、两个紫外线光源和独立的温度控制器。在这些模块中的每一个中，可以控制不同的生长参数，以允许纳米结构的精确生长。主源室是包含生长表面和源材料的主室。基板支架与源室热耦合，由高精度、低温电阻加热器加热。主源腔设有传感器，用于测量温度、压力、成分、生长速率等各种参数。两个积液池安装在主源室，用于物料蒸发。细胞垂直于生长表面定位，能够覆盖整个表面。在MBE生长的情况下，积液细胞含有用作外延过程的原料。两个紫外线光源安装在主光源腔内，垂直于生长表面，倾斜角度可调。这些光源可以提供广泛的能量强度，以操纵生长条件。温度控制器用于调节主源室内部基板和材料的生长温度。这些控制器是电阻加热器，可设置在300至800摄氏度的温度下。加热器经过微调，以实现精确的温度控制，并提供所需的生长条件。RIBER EVA 32是一个专用的MBE系统，可以帮助执行异质结构和纳米结构的高度控制制造。其多模块和参数的精确控制为优质材料的生产提供了极致的灵活性。