二手 VARIAN / VEECO GEN III #9196890 待售

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ID: 9196890
MBE System (3) Wafers: 2" Single: 4" Single: 3" Single: 2" / 3 x 2" 1999-2002 vintage.
VARIAN/VEECO GEN III分子束外延(MBE)设备是纳米级薄膜材料沉积最先进的系统之一。该系统使用三种不同外延生长源的组合:两种低能电子束蒸发器和一种超高真空破碎真空源。它旨在提供比传统的MBE系统高两个数量级的增长率。此外,VEECO GEN III对每个源具有卓越的温度控制和精确度,可实现更高的增长率、更高的保形性以及微调生长过程的能力。该单元还配备了一系列的测量和监测能力,包括原位反射和反射高能电子衍射(RHEED),以及使用微拉曼、扫描电子和原子力显微镜的综合分析。此外,一套软件工具允许工程师监视和管理增长过程的各个方面。VARIAN GEN III还提供各种底物和惰性气体,使用户能够在成分和特性方面创造出广泛的材料。这包括III-V化合物,以及氧化物、氮化物和氧硝化物。此外,GEN III的先进温度控制能力允许两种材料在顺序生长过程中并行沉积,每种材料的温度不同,从而提供了多级器件制造。VARIAN/VEECO GEN III分子束外延机的MBE生长过程与先进的测量监测能力相结合,使其成为现有最强大的薄膜材料生长系统之一。它能够生产具有广泛特性的材料,从薄膜到由不同材料组成的三维装置。
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