二手 VG SEMICON VG80 #9193894 待售

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製造商
VG SEMICON
模型
VG80
ID: 9193894
MBE System Manipulator, 3" Rheed Metallization chamber (2) E-beam sources Included: Manipulators Transfer mechanisms AGER Spectrometer.
VG SEMICON VG80是用于半导体材料和器件生长的最先进的分子束外延(MBE)设备。MBE是一种复杂且广泛使用的需要高真空条件的薄膜沉积技术,可防止任何气体干扰沉积过程。VG80是要求苛刻的工业环境的理想选择,因为它在低能耗的情况下运作,并且有几种优化过程稳定性、质量和产量的选择。这个系统可以使用电子或离子轰击和激光退火处理高达1,050 °C的高温底物。它还包括一个超低压沉积前阶段,可以将氧气和水蒸气的分压降低到超低水平。VG SEMICON VG80包括广泛的气源,包括氢气、氦气、氮气、一氧化碳和六氟化硫,以及其他一些可选气体。VG80可实现的最小特征尺寸约为5nm,配备了先进的原位等离子体源和高分辨率表征工具。VG SEMICON VG80能够提供出色的均匀性和平滑界面,这对于制造光电器件、FET和其他纳米结构至关重要。该单元由一个功能强大和复杂的软件套件控制,该套件设计用于材料的自动沉积、表征和屈服分析。除了沉积过程控制外,VG80还具有强大的均匀性和纯度控制操作能力。最后,VG SEMICON VG 80的高级安全功能(如紧急过程停止和过载保护模式)使其成为市场上最可靠、最强大的MBE系统之一。VG80具有广泛的特性和功能,是LED、智能显示器和摄影等应用的理想选择。它是制造半导体产品和器件的可靠、强大的机器。
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