二手 AAT 9600 #155478 待售

AAT 9600
製造商
AAT
模型
9600
ID: 155478
Closed loop batch washer.
AAT 9600是专门为生产高质量、均匀的晶片而设计的"其他晶片加工"设备。该系统具有超低表面粗糙度值,以确保所生产的晶片具有市场上可用的最高纹理质量。9600可以加工不同尺寸的基板,从小到大不等(最多200毫米)。其顶级Metz Technologies P90旋转电镀头确保厚度均匀、平面化均匀、间隙填充改善。基材保持在高度精确的位置阶段,确保晶片的所有部分均匀处理。其工艺控制能力允许对沉积速率、厚度和均匀性进行精确调整。AAT 9600还具有许多自动控制功能,如报警报告、自动校准和远程监控。这样就可以对该单位进行远程监测,提高其运作效率。机器还具有用户友好的界面,允许用户轻松控制过程参数,并对工具进行编程以优化性能。在晶圆处理能力方面,9600能够进行空腔填充、沉积和涂层。资产还能够执行若干后处理步骤,包括化学机械平面化(CMP)、背面等离子体清洗和化学蚀刻。这些工艺还可用于沉积精确的介电膜、溅射抛光和纹理,确保高质量的晶片。总体而言,AAT 9600设计用于生产行业中表面质量、规律性和均匀性最高的晶片。其精确的过程控制和自动化功能可确保最佳性能和降低成本。此外,该模型还能加工不同尺寸的基材,成为生产性能可靠的优质晶片的理想选择。
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