二手 AEROTECH ABRS-150MP-M-AS #135149 待售

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ID: 135149
Air bearing rotary stage with A3200 controller Automation 3200 software Interface cable Firewire cable Certificate of accuracy included Average accuracy: 2.5 arc-seconds.
AEROTECH ABRS-150MP-M-AS是一种先进的晶圆加工设备,旨在提供卓越的吞吐量和性能。该系统采用最先进的技术,如多轴自动化、高精度机器人技术、嵌入式固件、信息跟踪和控制以及实时监控,旨在满足不断变化的半导体制造环境的苛刻要求。ABRS-150MP-M-AS由一个主体基座组成,基座上装有一个6轴线性轴机械臂操作单元。该单元能够沿着X、Y和Z轴以及沿着完整的360度旋转弧线精确移动。机械臂的开放式设计允许更大范围的晶圆表面,提供最大限度的控制和灵活性。机械臂进一步配备了先进的视觉单元,以精确定位和选择各种大小和形状的晶片,同时仔细监视模具位置和方向。AEROTECH ABRS-150MP-M-AS还配备了直观通用的用户界面,方便访问晶圆处理参数和所有设置。集成材料机可以快速、方便地装卸晶片和载波以进行处理和转移,而可选的分类和回收工具则简化了晶片在重复使用和废料回收方面的处理。ABRS-150MP-M-AS还提供内置安全机制,以防止人员、设备、部件和工艺受到任何潜在损害。这些安全特性包括屏障、封闭式激光检测系统、能量感应开关和自动关闭开关。此外,作为一项开放资产,AEROTECH ABRS-150MP-M-AS可以快速轻松地定制,以满足各种晶圆处理应用的具体要求。总体而言,ABRS-150MP-M-AS是一个强大而高效的晶圆处理模型,能够自动化几乎所有与半导体行业相关的过程。凭借多轴机器人技术、嵌入式固件、直观的用户界面以及可选的分类和回收设备,AEROTECH ABRS-150MP-M-AS为用户提供了一个易于使用、可靠且经济高效的解决方桉,可用于各种晶圆处理应用程序。
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