二手 AKRION GAMA #9154699 待售

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AKRION GAMA
已售出
製造商
AKRION
模型
GAMA
ID: 9154699
晶圆大小: 8"
Wafer cleaner, 8".
AKRION GAMA (Generic Advanced Metrology Analyzer)是一种针对微电子工业中广泛的非接触式计量应用的精密解决方桉。利用先进的扫描显微镜技术,该设备能够以高精度和高精度测量广泛范围的晶圆参数。GAMA专注于边缘和距离检查、步高、平坦度、大小、形状识别、厚度、共面度、表面检查等参数。该系统无破坏性,采用远心光学单元,以最小的漂移确保整个晶圆的精确测量。利用激光扫描和干涉技术,AKRION GAMA在一次扫描中对整个样品进行3D地图测量。这使得能够以高度的置信度分析特征,例如检测颗粒污染。GAMA由用户友好的控制模块、自动晶圆处理机、高分辨率成像工具和样品定位资产组成。控制模块基于PC,独立运行,允许对整个型号进行智能控制。自动晶圆处理设备可以处理多种尺寸的300毫米晶圆。高分辨率成像系统的轴向分辨率为0.5微米,能够在一次扫描中获取多达100万行图像数据。样品定位单元可实现亚微米精确测量。通过一个自动校准例程来确保样品的对齐,该例程扫描整个晶圆周围的几个量规点。机器可以测量任何无损样品,只要它符合标准样品持有者。AKRION GAMA附带强大的数据处理和分析软件。该软件可用于可视化、分析和报告大小样本的结果。该工具还包括特定于GAMA的脚本,允许用户自定义软件以适应其特定的应用程序和要求。AKRION GAMA为广泛的晶圆加工应用提供了强大、准确和可靠的解决方桉,从基板识别和测量到先进的粒子检测和故障分析。其灵活的配置和自动化的控制使得GAMA成为任何晶圆处理需求的理想选择。
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