二手 KERRY SC 1000CL #148527 待售

KERRY SC 1000CL是一种自动化晶圆加工设备,具有一系列工艺能力,可提高半导体晶圆制造的产量、成本和吞吐量以及安全性。该系统将旋转晶片加工室与热墙密封装置结合在一起。在密封装置内部，温度、湿度和颗粒水平被精确控制在每立方英尺10以下。这样可确保污染物不会进入加工室,从而保护细腻敏感的晶片表面免受污染、设备损坏和屈服损失。SC 1000CL还提供了一个集成反应室，用于在晶片上执行气相过程，如柔性清洁、全气和ALD过程，如蚀刻、氧化、氮化和金属沉积。所有必要的气体都很容易供应到加工室，确保高效和可重复的过程执行。反应室还具有加热晶片支撑表面和浮动晶片基座，用于处理高达800°C的温度和± 4°C的可重复温度均匀性。KERRY SC 1000CL专为量产过程和高端半导体产品的生产而设计。它也可用于需要严格控制温度、湿度和颗粒控制的安全关键应用。该单位先进的自动化控制器和软件协助工程师满足半导体行业苛刻的规格和安全要求。SC 1000CL还支持远程监控和数据采集,使其成为长期过程控制项目的绝佳解决方桉。该机器还获得了ISO9001和ISO14001质量及环境标准的认证，提供了安心和改进的全球产品接受度。总之，KERRY SC 1000CL工具是一种先进的自动化晶圆工艺资产，为各种制造工艺提供了高度的工艺可重复性和控制。它是半导体行业安全关键型应用和工艺控制的绝佳解决方桉。