二手 KLA / TENCOR SFS 7700 #9137304 待售

KLA/TENCOR SFS 7700是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,用于测量和分析半导体晶圆上的各种制造参数和缺陷类型。它使用自动光学检查和工艺测量来提供晶圆性能的综合画面。该平台利用先进的光学、算法和传感器来测量晶片和光刻膜的物理和电气特性。KLA SFS 7700有两个驱动组件-硬件和补充它的软件工具套件。该平台的硬件能够对直径达300 mm的晶片进行成像,并具有8736个可独立控制的上下表面像素。该系统还具有高速级，以精确的方式移动晶片，并允许快速晶片扫描。该单元还包括用户界面、全数字显微镜和彩色非接触显示器。这台机器采用了一套软件工具来分析晶片并检测任何潜在的缺陷或不规则性。软件套件包括线晶片特征工具、金属层检查工具、彩色划痕检测工具和粒子检测工具等。这些工具分析了各种制造参数，如晶圆厚度、反射率、线宽变化和薄膜均匀性。该工具还提供集成的自动缺陷诊断资产、阴影和粒子成像模型、迭加测量设备以及平坦度测量系统。TENCOR SFS 7700还提供全面的服务包,包括客户支持和培训。这包括一组技术支持、培训和应用程序工程师,他们可以协助设备的设置、维护和故障排除。通过各种文档和在线资源提供额外支持。总体而言,SFS 7700是一台先进的晶圆测试和计量机器,旨在提供准确、可靠和可重复的测量和分析。适用于广泛的晶片基产品的生产制造。