二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9132537 待售

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ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
已售出
ID: 9132537
优质的: 2007
Spin rinse dryer (SRD) 2007 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是一种专门用于半导体晶片处理的光阻系统。是光敏技术领域的持续创新。该装置旨在优化光刻胶工艺的精度和吞吐量,大大降低晶圆对准误差。这台机器的核心部件是它的旋转塔,它可以让工具达到高速和精度。该塔配备了先进的CCD相机资产,精确对准并均匀地将光刻胶分布在晶圆上。还包括一个数字滤波模型,以提供最佳晶圆处理结果。ASSI SV-702效率高,最大旋转速度为3500 rpm。它能够在光致抗蚀剂到达晶片边缘时自动停止运动,确保施加在晶片上的光致抗蚀剂层是均匀的,没有任何间隙。这样可以使晶片获得更高的纯度和精度。此外,旋转塔还配备了数字温度传感器和加热/冷却元件,可用于在晶片加工之前和加工过程中精确控制晶片的温度。ADVANCED SPIN Equipment INC还SV-702加快晶圆光刻剂的清洗过程。该系统采用精心设计的转移机制,大大减少了清洁所需的时间。清洗机构还能够从晶片上同步纺丝和喷涂光致抗蚀剂,进一步加快清洗过程。此外,清洁机构包括化学稀释模式和半导体抗蚀剂烘干机,允许在清洁过程完成后快速干燥抗蚀剂层。SV-702是一个最先进的光刻装置,为半导体晶片提供无与伦比的处理精度和速度。它具有光学CCD对准机、数字温度传感器、抗干燥机等先进功能。这些功能旨在提供最佳晶圆处理结果,并大大减少晶圆对准误差。该工具是任何半导体生产设施的宝贵补充。
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