二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9155953 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702光刻系统是一种精密的制造工具,专为制造精密的微机电系统而设计。它由主光敏装置、自动处理柜、抗蚀剂预烤装置、自旋喷雾功能、热板、再循环泵装置以及酸洗部件组成，使晶圆钝化。主光致抗蚀剂单元是具有用户友好界面的独立单元。它由单一和溷合光刻胶的分配器、泵、搅拌器和储层组成。光刻胶的分配是通过高压微泵完成的，该泵为每个应用提供准确和一致的流量。单元中的搅拌器用于在分配时保持光刻胶溶液的正确粘度。储层允许使用单一或溷合光刻胶，同时允许在不同的溶液容器之间泵送。自动处理柜由一系列抽屉组成，供晶圆架放置在机器中处理，以及一个可以一次装载多个晶圆的托盘。自动处理工具允许晶圆从储层转移到自旋和喷雾功能。抗蚀剂预烘烤装置是一种保证晶片在暴露于抗蚀剂过程中稳定性的资产。该单元由预热烤箱组成，该烤箱既有底部加热器，也有顶部加热器。底部加热器有助于在晶片上创建所需的温度分布,而顶部加热器则可确保均匀的阻抗厚度。自旋和喷雾单元是由自旋和喷雾室组成的模块。它被用于光刻胶在晶圆表面的均匀应用。该单元通过放置在腔室中的晶片的快速旋转运行。与气缸结合时，自旋和喷雾单元的作用是将光刻胶均匀地分布在晶片表面。热板提供了一个平台，晶圆可以被均匀加热到最高125摄氏度。它是一种温控表面，晶圆可以在其上加热烘烤，同时用搅拌棒搅拌，以确保均匀的抗热厚度。再循环泵模型由一系列循环光刻胶的泵组成。这种设备可确保光致抗蚀剂保持恒定均匀且在可接受的参数范围内。酸性冲洗组分用于晶圆钝化。这有助于确保晶片表面不被光刻胶溶液的残留物和用于蚀刻过程的其他成分污染。ASSI SV-702光刻系统是一种高度先进的制造工具，在微机电装置生产中具有精密和精确的关键功能。凭借其自动化的搬运柜、抗预烤单元、自旋喷雾功能、热板、再循环泵机、酸性冲洗部件，为厂家提供了实现高效可靠生产工艺的能力。