二手 SEMITOOL 260S #82971 待售

SEMITOOL 260S
製造商
SEMITOOL
模型
260S
ID: 82971
晶圆大小: Up to 5"
Spin rinse dryer, up to 5".
SEMITOOL 260S是一种由SEMITOOL, Inc设计制造的光阻设备。这种高端系统旨在处理从晶圆制造到光掩模制造的各种应用。260S旨在提高前硅工艺的光刻操作速度和准确性,如接触面罩、铅架、射频滤波器和下一代半导体组件所需的其他组件。SEMITOOL 260S利用具有四轴运动的大型高分辨率光刻装置,允许各种方向和设置。其高分辨率光学器件专为先进的光刻应用而设计,可处理小至50微米的孔径尺寸。这台机器的精确度和准确性使其具有出色的图像质量和可重复性,这意味着该工具可以在高分辨率的生产环境中使用。260S还具有先进的电动机控制资产,可精确控制四轴运动。这种电机控制允许极快的定位,可靠和精确的对准,以及低振动电机控制器。利用电子电机控制模型和四轴运动,SEMITOOL 260S能够在比传统光刻系统短得多的时间内产生高质量的图像。设备还配备了自动化软件包,能够自动调整组件,并控制系统的曝光、开发和蚀刻释放过程。除了操作外,260S还具有多种选项,可为特定应用程序定制设备。计算机可以配置各种数字I/O、用户定义的工作流、条形码读取器以及对阵列和对齐过程的扩展自动化支持。此外,该工具易于升级,可用于现有的SEMITOOL工具,包括Mesurol Pro、HP Indigo数字印刷机、GDSII分层和Videojet打印设备。总体而言,SEMITOOL 260S是一种提供卓越分辨率、准确性和可重复性的高端光刻胶资产。由于其先进的电机控制模型和四轴运动,它能够产生比传统光刻系统短得多的高质量图像。此外,260S还配备了多种可定制的选项,并且易于升级以使用现有的SEMITOOL工具。
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