二手 YIELDUP INTERNATIONAL Omega 2000 #71627 待售

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ID: 71627
晶圆大小: 8"
Wafer cleaning system, 8" Chamber dimensions: Length: 14.875" Width: 10.375" Depth: 10.75" (to bottom of the drain holes), 12.625" (to the top of the deck) No IPA bubbler.
RIELDUP INTERNATIONAL Omega 2000是半导体工业中用于在晶片上产生高精度特征的最先进的光刻设备。它用于在亚微米级创建非常薄的涂层。欧米茄2000是一种两级光刻胶系统,能够创造极薄的几纳米级层。第一级是在晶片上涂抹光刻胶的涂层级。这个阶段要求基板要完美平整,使涂层均匀,没有缺陷。光致抗蚀剂具有较高的纯度,具有较好的图样性能和薄膜特性.第二阶段为开发或蚀刻阶段。这是光致抗蚀剂涂层暴露在高强度光源下,以创建与化学显影剂反应的反应性层来编辑和定义图样的地方。此后,光致抗蚀剂在灰烬或等离子体蚀刻中被去除,留下所需的图桉。RIELDUP INTERNATIONAL Omega 2000凭借稳定的渐进抗蚀层、优越的光学性能和优越的抗蚀性,能够产生高精度、高品质的特性。该单元的建造成本低廉,可靠,工作寿命长。它能够以长达15秒的重复速率运行,从而能够快速生成数百种高质量的功能。与传统系统相比,欧米茄2000是光刻技术的一项重大进步,其特点在半导体工业中为生产晶圆上的高精度特征而进行了优化。简而言之,RIELDUP INTERNATIONAL Omega 2000是一种精密的机器,能够产生高精度的特性,并具有很好的效果。
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