二手 AET RX-V4 #78797 待售

ID: 78797
晶圆大小: 4"
Quartz Rapid Thermal Process unit, 4" Up to 8 gases Dry pump included.
AET RX-V4是一种先进的快速热处理设备,旨在促进高效的半导体器件制造。RX-V4是一种多用途且可靠的工具,可实现快速高温分析、晶圆退火、沉积和高精度模具粘合过程。该系统具有集成的垂直升力、多种升力-升力配置以及集成的晶圆映射功能。AET RX-V4包含预编程的水平臂(Harmonizer)和高级软件诊断。这允许快速检测和映射各个工艺参数,并允许进行自适应设计,以便将设备轻松无缝地集成到制造环境中。Harmonizer能够进行多种热处理,包括厚膜固化和烧制、金属薄膜固化和低温热处理。集成的先进汽车技术确保了最大的稳定性和正常运行时间,使其成为半导体器件生产过程中的理想解决方桉。RX-V4的高级晶圆映射功能能够可视化和识别各个流程步骤,从而使用户能够快速诊断和修改各种流程参数。晶圆图包括几个高分辨率图像,这些图像可随时间监测各个工艺参数。它可用于监视热过程中的温度曲线,以及关联视觉检查数据。此外,AET RX-V4可以快速识别样本中的缺陷和其他不一致之处。RX-V4配备了高效真空机和先进的晶圆分析工具,使用户能够进行广泛的测试和实验。真空资产利用多种传感器技术实时监测压力和温度。这样可以确保快速、准确地优化和控制工艺参数。此外,晶圆分析模型允许对晶圆特征(如厚度、组成成分和污染物水平)进行定量分析。AET RX-V4配备了直观的图形用户界面,旨在实现轻松导航和直观操作。这使得评估各种热过程的结果更加容易。设备还包括先进的自我诊断和维护功能,确保最佳操作和可靠性。总体而言,RX-V4是一个高效可靠的热处理系统.它是高效制造半导体器件的理想工具,为快速、准确和精确的热分析、晶圆退火、沉积和模具结合过程提供了直观而全面的平台。
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