二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9175565 待售

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AG ASSOCIATES Heatpulse 610
已售出
ID: 9175565
优质的: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system Bench top Single chamber No gas detector Single wafer process Single rotometer controlled gas channel Multistep process cycle capability Quartz tray wafer diameter, 6" Programmable ramp up rates: 10°C-250°C/sec Operating temperature range: 450°C-1250°C Peak temperature: 1,200°C Processing cycle: 1-600 sec PC Controller with flat screen monitor Pyrometer temperature control Thermocouple Input power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz, 125 A 1997 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 610是一种快速热处理器(RTP),专为高生产吞吐量和工艺一致性而设计。该处理器采用具有四区温度控制的连续真空密封炉来快速、一致地处理样品。四区控制允许整个样品宽度的精确温度控制,减少过冷和过热的问题。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610的键合面积为610 x 485mm,容量可达60晶圆,可加热至1000 °C的最高温度。精密加热器元件的热稳定性±为0.5°C。采用变速气流来控制熔炉过程的热环境,确保所有晶片的过程温度均匀。热压610提供多种工艺配方,包括低熔化温度合金、退火、扩散、高温/高热释放、氧化和真空退火。它还支持变形键合和MEMS等特殊过程。所有过程都使用板载控制器和高级配方编程进行控制。HEATPULSE 610具有耐用的玻璃铝结构,带有四螺杆检修门和检修端口。它非常适合半导体或微电子、光伏、MEMS和航空航天等行业环境。处理器用户友好,具有直观的触摸屏和可定制的显示器,可提供实时流程监控。它还为可靠的生产输出提供了高级错误检测和预防功能。此外,AG ASSOCIATES Heatpulse 610配备了软件包,使用户更容易进行数据分析、控制和监控。这些工具可以在生产过程中节省时间和成本,从而提高产量并加快投资回报。为了确保可靠的性能,处理器需要一年的保修期。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610还提供培训和技术支持以及预防性维护选项等服务,以帮助客户最大限度地提高投资并从处理器中获取最大价值。
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