二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956 待售

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ID: 9148956
晶圆大小: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4" Quartz process chamber (21) Tungsten halogen lamps Closed-loop temperature control Fast heating and cooling rates Temperature range: 400-1250° C Steady-state temperature stability: ± 2° C Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP) Heating rate: 1-200° C/sec Cooling rate: max 150° C/sec Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C Implant: 1E16 50 KeV Implant uniformity ≤0.3% Steady state time: 1-9999 sec Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processor是用于制造集成电路和其他设备的最先进的机器。热脉冲410设计用于在严格控制和可重复的环境中对半导体基板进行快速可靠的热循环。AG ASSOCIATES Heatpulse 410的核心是一款高度先进的耐腐蚀高速微处理器,旨在提供精确快速的热循环。此处理器可确保晶片的热梯度最小,即使在向上或向下倾斜时也是如此。该处理器旨在实现高精度的温度控制和出色的循环重复性。热脉冲410具有先进的射频保护功能,可最大程度地减少信号干扰造成的热应力。它还具有先进的超低电噪声级别,可将外部信号和串扰的潜在干扰降至最低。AG ASSOCIATES Heatpulse 410包括一个板载触摸屏控制面板,具有专用温度、脉冲和腔室温度控制调制器。它还具有实时热监测功能,为用户提供对单个晶圆参数(如温度、压力和脉冲宽度)的连续读数。Heatpulse 410旨在支持单晶片和批处理。它包括多个嵌入式热配置文件,允许用户配置机器以适应不同类型的处理。此外,可以将机器配置为适应不同的热处理要求,如最大加热速率、最大冷却速率和最大浸泡时间。在安全性方面,AG ASSOCIATES Heatpulse 410以高温传感器、故障安全电源管理等先进安全特性打造,保护机器免受硬件和软件故障的侵害。该机还具有一个多点冷却系统,在紧急情况下可用于冷却晶片。总体而言,Heatpulse 410是一款先进可靠的快速热处理器,旨在提供严密的温度控制和出色的可重复性。它具有高度先进的微处理器、可靠的射频保护和实时热监控功能。此外,它还包括高温传感器、故障安全电源管理和多点冷却系统等多种安全功能。
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