二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9146304 待售
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ID: 9146304
晶圆大小: 5"-8"
Rapid thermal processor annealing systems, 5"-8"
Includes:
Process chamber: Two high-intensity tungsten halogen lamp arrays
STD Bus for real-time operation
Quartz isolation tube
Robot / Robot controller
Gas control electronics
ULPA Filtration system
Graphic user interface (GUI) computer system
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate:
Programmable
Range: 1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate:
Programmable
Temperature
Radiation dependent
Range: 1 – 180°C Per second
Maximum: 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款快速热处理器,专为高效、精确的热处理而设计。适用于广泛的热应用,包括半导体基板、薄膜、光电子、MEMS器件的快速热处理。8108是一款功能齐全的快速散热处理器,提供50°C至1200°C的温度范围和± 50°C的样品温度均匀性,以及30秒至6分钟的快速热循环时间。8108配备了AG ASSOCIATES IPM-6000热处理器控制系统,为多种基板类型和尺寸提供精确的温度控制和支持。该IPM-6000提供了一个直观的用户界面和可编程的热量配置文件,使用户能够快速轻松地创建自定义热量过程。它还配备了一系列可选配件,包括加热元件温度监测器、短程红外传感器、高温高温计和热像仪模块。8108带有金属卤化物照明系统,允许实时监控过程。还包括一个重型、耐腐蚀的不锈钢室,防止氧化和样品的潜在污染。该室还设有设计用于优化热均匀性的开槽架子。8108旨在满足各种热处理需求,提供快速、高效、准确的热处理。是半导体研究、薄膜沉积、MEMS器件制造、电子封装等应用的理想选择。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108具有先进的功能和用户友好的设计,是各种热处理应用的理想工具。
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