二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9161356 待售

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ID: 9161356
Rapid thermal processor Temperature sensor: DTC ez-DTC Double O-ring: P/N: 7310-4622-05 Ceramic shield, 8" N2 Curtain Susceptor, 6" Graphite with SIC coating Wafer aligner.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款快速热处理器(RTP),旨在为广泛的微电子材料提供高质量的热处理。最先进的设备能够在受控大气中快速准确地加热基板。该系统由一个基本单元和一个主动冷却的压板组成。基本单元装有加热器和计算机控制的过程控制器。该工艺控制器用于控制加热参数。也可用于控制冷却速率和过程中施加在基板上的压力。主动冷却的板材包括用于温度控制的热电偶和一套用于夹紧和基板运动的高精度空气轴承。该机组的温度范围很大,温度从-25 °C到600°C不等。整个基板的温度均匀度在+/-7°C下测量,从而确保热处理的质量。其均匀的冷却机制确保晶片以均匀的速率冷却,没有任何热点或损坏。该机还通过提供控制温度、坡道速率和压力等参数的方法,以及监测基板的温度均匀性和均匀冷却,来支持一个准确和可重复的过程。它还具有测量薄膜厚度、裂纹深度和折射率等参数的能力。通过方便用户的界面和数据记录功能,使工具的分析和控制更加容易。该资产还支持强大的售后服务网络,其部件和消耗品随时可用。综上所述,AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108是一种有效的快速热处理器,能够提供高质量的热处理。它提供了广泛的温度范围,准确和可重复的过程控制,和用户友好的界面。其监测基板温度均匀性和均匀冷却的能力保证了结果可靠可靠。其售后服务网络使其成为众多应用的诱人选择。
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