二手 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9196230 待售
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ID: 9196230
晶圆大小: 5"-8"
优质的: 1995
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass flow controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1995 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108是一款先进的快速散热处理器,能够提供高性能。它旨在加速各种材料的快速热加工，包括陶瓷、金属、聚合物和复合材料。它具有多种功能,非常适合快速原型设计、研发和制造生产。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108是一种单室可编程设备,具有两个高扭矩的热风风扇,可在必要的温度下提供优化的结果。这些风扇可以独立调整，以实现精确的温度控制，同时冷却速度比标准温度控制的批式炉快三倍。该炉的最高温度为1200 °C，炉床板尺寸为300 mm。它有一个内置的自动水冷液压系统，在过温或过压的情况下关闭炉。HEATPULSE 8108的智能通过用户友好的触摸屏界面管理，菜单结构全面，显示直观。通过此接口对流程进行编程和监控非常容易。处理器还具有计算机连接功能,允许多个用户从自己的工作站或联网计算机访问设备。它还支持Quick-Heating TM等软件工具,以实现快速循环时间和多个配方存储。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8108的其他特性包括气体分配机、用于优化热剖面的内置温度斜坡程序以及内部带有陶瓷衬里的不锈钢外壳,有助于保护易碎材料免受热冲击。此外，它还配备了自动报警工具和容错设计，以便可靠运行。这些特性使HEAT PULSE 8108成为可靠灵活的快速热处理器。
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