二手 DNS / DAINIPPON LA-3000F #9009841 待售

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DNS / DAINIPPON LA-3000F
已售出
ID: 9009841
晶圆大小: 12"
Lamp anneal system, 12".
DNS/DAINIPPON LA-3000F是一种先进的快速热处理器,专为高速、低成本的半导体晶片热处理而设计。它配备了陶瓷电子束源,先进的温度控制,以及整个晶圆表面精确的温度均匀性。DNS LA-3000F中使用的电子束(E-Beam)源设计用于低漂移和视线照明的高速处理。该装置还具有一个石英光捕集器和一个移温室,以提高温度均匀性和可靠性。它使用了比大多数其他快速热处理器更强大的加热元件和更大的腔室。这样就产生了快速的温度上升速率和快速的传热,从而在整个晶片表面均匀加热。DAINIPPON LA-3000F配备了先进的温度控制器,以0.1°C的增量提供从50°C到1100°C的精确温度控制。它还配备了一个高精度的均匀性传感器,实时监控整个晶圆表面的温度,并相应调整温度。这样可以确保晶片在一定的公差范围内均匀加热和冷却。此外,该设备包括一个快速图表记录器,它可以记录温度在长达一秒的间隔。LA-3000F包括若干确保可靠和高效操作的安全功能。它的石英光捕集器和散热器平衡室消除了由E-Beam产生的杂散光子和热不平衡。它还具有自动恢复系统,可恢复在处理过程中中断的配方。最后,其陶瓷晶片载体确保了晶片的精确对准,而石英窗则确保了爆炸的安全。DNS/DAINIPPON LA-3000F是半导体晶片快速热处理的理想设备,是许多先进制造工厂的重要组成部分。它提供精确的温度控制、快速的传热、先进的安全特性以及改进的均匀性,以优化性能。它是高速、低成本热处理的理想选择。
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