二手 MPT RTP-600XP #9027274 待售

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ID: 9027274
晶圆大小: 2"-6"
优质的: 2004
Rapid thermal processor, 2"-6" Applications: RTA, Annealing, Implant Activation, Oxidation & Reflow Thermal processing: Si, Ge, Si/Ge, GaAs, InP and Other semiconductor materials Temperature range rate: 250-1300°C Temperature ramp rate: 1-200°C/sec Quartz process chamber, Capable of handling inert and Reactive gases Dual color pyrometer with Auto-Calibration feature (2) MFC Controlled gas channels; Upgradeable to 6 channels Integrated Windows NT based pentium processor Software revision 3.10 208 V, 60 Hz, 3-Ph, 80 A 2004 vintage.
MPT RTP-600XP是一种快速散热处理器(RTP),旨在处理各行业中各种散热过程。该设备采用直接热耦合系统,能够对退火、氧化、氮化和扩散等高速过程进行精确的温度控制和快速加热。RTP-600XP单元的腔室尺寸为476x406x127mm,适用于较大的加工项目。其重型耐用腔室结构提供最大可靠性和均匀供暖。该机还具有真空能力,非常适合特殊工艺,如排气。MPT RTP-600XP具有低热质量热传输工具,具有专门设计的热剖面发生器(TPG),具有独立的时间和温度曲线控制功能。此资产的独特设计可确保最佳的散热效果和最小的失真。它还具有开放大气加热能力,允许真空和压力过程的受控组合。RTP-600XP模型具有先进的控制和优化功能,例如自动调谐功能,这使得预编程热曲线易于保存,以备将来使用。它还具有精确控制预热时间的功能,有助于确保尽可能高的精度。MPT RTP-600XP是高精度温度传感器的绝佳设备,可以更好地控制过程。它提供了统一、干净和稳定的结果。RTP-600XP具有处理各种应用的能力,非常适合各种行业寻求高效可靠的热处理。
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