二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9137937 待售

STEAG/MATTS/AST 2800是一种快速热处理器（RTP），设计用于半导体晶片的快速、均匀加热和冷却。该设备是一种高度通用、高效的热工具，用于各种温度感测和控制操作，非常适合研究和生产应用。AST 2800具有可靠、精确的双室设计，每室工艺面积25厘米乘25厘米。这种可用空间的扩展允许用户堆迭多个基板，大大提高了吞吐量和生产率。此外，一个保护性的惰性气体流动系统包围了工艺区域，防止了半导体材料的污染。较短的热循环时间进一步提高了高吞吐量,通常能够在一秒内达到高达1200摄氏度的温度。高精度的温度和过程控制是STEAG AST2800的优点。这是由于先进的基于PID的控制单元能够操纵设定点、停留时间、斜坡速率和最高温度。除了这些参数之外，机器还包括用于优化流程应用的高级低流量逻辑。这有助于进一步提高最高温度控制和刀具精度。精密温度控制和快速热循环时间是使AST AST2800技术复杂的硬件和工艺操作的理想选择。2800的可靠性、准确性和效率使其成为关键任务流程的理想选择。石墨敏感器加热元件和专有的直接冷却资产大大降低了出现缺陷的机会，导致半导体材料更加可靠。加热协议还允许用户输入自己的特定加热和冷却特性,从而确保优化热循环和均匀性的高精度处理操作。总之,MATTSON 2800是一款可靠、准确、高效的快速热处理器,是高科技工艺应用的理想工具。该型号提供了一种用于热循环期间保护的惰性气流设备，以及每个腔室25厘米乘25厘米工艺面积的双腔室设计，允许增加吞吐量。先进的基于PID的控制系统允许用户输入特定的加热和冷却参数进行精确控制，而专有的加热协议则优化热循环。所有这些功能结合在一起,使MATTSON AST2800可靠和准确的热处理必不可少的工具。