二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9084734 待售
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已售出
ID: 9084734
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
RTP system,12",
Currently shrink wrapped and warehoused
Process Chambers:12" (3x FOUP)
Carrier ID reader (Hermos RF CID)
SECS/GEM
MBC soak anneal controller
Low temperature option including Low
Temp MBC
Fast cooling option (FAC and USJF)
Low concentration processing kit
Over pressure control
Gasses
N2 20 SLM
N2 150 sccm
O2 150 sccm
O2 20 SLM
O2 2 SLM
Ar 150 sccm
Ar 20 SLM
O2 200 sccmo APF Faceplate
2005 vintage.
STEAG/MATTS/AST Helios是由全球热处理技术领先的AST MATTOSN製造的快速热处理器(RTP)。它是一种通用设备,能够提供广泛的热处理应用,包括薄膜沉积、退火和快速热氧化(RTO)。该系统由连接到自动高温室的水平安装的感光器组成。该感光器能够达到高达950摄氏度的温度,设计用于高温精度的可重复性。该室采用卤素灯和石英空气加热装置,设计用于均匀加热感光器。该室还设有一个自动装卸晶片门,以及一个隔离的排气口,用于排出加工气体。该装置通常配置一个或两个石英灯和一个卤素灯。它可以连续、单批、自动化和半自动模式运行。晶片通过自动化的多级传输机制装入腔室。该机还配备了PID温度控制器,以确保均匀性和可重复性。该工具能够处理各种晶圆尺寸和基材,包括硅、砷化氙和蓝宝石。它能够变薄至6微米,退火70至1000欧姆/平方英尺,以每分钟70至150纳米快速热氧化至100摄氏度。该资产还具有溢价过程泄漏和长期周期稳定性,可重复、可靠的结果.总体而言,AST Helios是满足各种热处理要求的绝佳选择。无论是沉积薄膜还是快速氧化晶片,该模型都能提供可重复再现的结果。它具有强大的结构和自动化功能,是高效处理零件的最佳选择。
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