二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 待售
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ID: 9206297
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12"
(2) Process chambers
(3) FOUP
Carrier ID reader: Hermos RF CID
SECS / GEM
MBC Soak anneal controller
Low temperature option:
Including low temperature MBC
Fast cooling option: FAC / USJF
Low concentration processing kit
Over pressure control
Gasses:
N2, 20 SLM
N2, 150 SCCM
O2, 150 SCCM
O2, 20 SLM
O2, 2 SLM
Ar, 150 SCCM
Ar, 20 SLM
O2, 200 SCCMO APF Faceplate
2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速热处理器（RTP），旨在提供精确的热处理能力。它利用独特的设计最大限度地提高吞吐量和生产率。AST Helios采用多种运行时控制功能，在室内提供精确的温度控制。这种热精度是通过多种恒温技术实现的，包括PID（比例、积分和导数）、鲁棒核心温度控制系统以及独立的工艺区域监控。这确保了对通过腔室的每个基板温度的精确控制。STEAG Helios还提供令人难以置信的速度，让温度迅速上升和下降。这有助于提高吞吐量，因为整个基质种群可以一次处理。MATTSON Helios可以在不到10秒的时间内达到高达1,300 °C的温度。除了Helios提供的快速速度和精确的温度控制外，它还具有节省空间的设计。它只需要较小的运行空间。STEAG/MATTSON/AST Helios可以方便地安装和拆卸，为工业和实验室应用提供了方便的选择。它还易于编程，允许使用定制的应用程序。AST Helios还提供了多种安全功能，如开放式腔室设计、压力控制阀、紧急停止按钮和多点保护系统。这些功能保护人员、设备和环境。STEAG Helios具有快速的处理时间、准确性和安全特性,是任何快速散热处理器系统的理想选择。MATTSON Helios凭借其通用的设计、快速的速度和先进的安全功能,确保热处理应用程序更轻松、更高效。
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