二手 AIXTRON Crius 31x2" #9199511 待售

AIXTRON Crius 31x2是一种先进的MOCVD（金属有机化学气相沉积）反应堆，特别适合于生产LED和激光等光电器件。它是一个AIXTRON Massively Parallel Processing equipment，允许单晶片和批处理操作，配置为300和600 mm晶片。Crius 31x2系统提供了一系列令人印象深刻的功能,包括强大的电子-回旋共振（ECR）等离子体形成,以及独特的沉积均匀性和外延质量控制配置。它的大型加工室设计为最多可容纳三个气体入口，另有一个遥控器用于气体溷合物或个别气体，以保持室内清洁和均匀的环境。大面积的腔室还允许更大体积的气体和更好的气流。Crius 31x2为优化外延沉积质量提供了两个截然不同的特征：MESA（宏观边缘扩散分析）和SEMPA（空间扩展分子电镀分析）。MESA单元提供实时原位分析，以确定晶圆边缘（"宏观"区域）的沉积非均匀性，而SEMPA则提供了一种在小尺度空间尺度上检查非均匀性的方法。这两个系统共同有助于确保外延沉积完全均匀且质量最高。除了增强的沉积质量外,Crius 31x2还提供其他功能,例如优化的基板温度控制,在全晶片上的温度均匀度为+/-5°C,峰值温度可达900 °C。它还配备了远程直接访问控制,可确保从任何位置进行可靠可靠的操作。总体而言，AIXTRON Crius 31x2是一款先进的MOCVD机器，非常适合生产高质量的光电器件。其令人印象深刻的一系列特性和功能使其对于单晶片和批处理操作以及各种其他应用程序都非常可靠。