二手 AIXTRON Tricent #9202043 待售

AIXTRON Tricent是一种军用级、高性能的半导体外延反应器和介电沉积工具。它为高频HEMT（高电子迁移率晶体管）和其他高级显示应用如OLED和LED产生外延层。Tricent专为密集的中大规模工业运营而设计。它具有较高的吞吐量沉积速率，在批次之间提供了可靠的过程重复性。AIXTRON Tricent由一个内部炉组成，通常使用Rafoxide或APCVD（大气压化学气相沉积）技术。一个附加的感光器碗提供了在一系列基材上的电介质沉积。它配备了自动化的负载锁以尽量减少人工干预，封闭式的热墙设计以尽量减少环境污染，以及水平安装的双臂机器人界面以最大限度地提高吞吐量。Tricent的设计采用电源和等离子体源,可以定制离子通量并实现超清洁、超纯的沉积环境。这使得它成为产生具有挑战性的结构和需要低总电离剂量（TID）的装置的合适工具。如前所述，AIXTRON Tricent能够产生一些可供半导体工业使用的最高沉积速率。其广泛的沉积工艺为客户提供了高长宽比结构和复杂蚀刻的选项，如线宽、侧壁方向和掺杂轮廓。Tricent的操作员界面为监控和控制流程提供了一系列用户友好的功能。此外，该系统还具备多用途控制功能，能够精确编程工艺参数并监控原位膜组成和层性能。一般而言，AIXTRON Tricent是一种高效、可靠的生产工具，适用于从事先进半导体器件制造的企业。其先进的技术和能力，加上直截了当的操作，使Tricent成为最高效率和提高产量的理想选择。