二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9051354 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一种高精度、高性能、单晶圆热处理反应器。它专为半导体、MEMS等先进材料行业的批处理工艺而设计。AMAT P-5000在生产集成元件方面的精确度、吞吐量和精确度使其成为生产晶片和半导体材料的强大、经济高效的工具。反应器由两个主要组件：工艺室和压力室.该工艺室有一个用于均匀加热和冷却的旋转敏感器，以及一个用于精确气体调节的气体喷射器。压力室装有压力调节器和300毫巴气体输送设备。气体输送系统旨在在保持低压稳定性的同时，对工艺气体和温度进行极其精确的调节。APPLIED MATERIALS P 5000反应堆还装有专利熄火装置。本机测量流程参数，并提供高级反馈控制和诊断。此工具有助于防止流程不稳定并确保最佳流程性能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反应堆能够处理多种材料，包括砷化的、石英的、氮化的、碳化硅的和III-V化合物。工艺设计为实现高温、快速冷却和从1毫巴到900毫巴的工艺压力。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000还采用等离子体增强化学气相沉积、原子层沉积和纳米级制图技术来生产高度集成的元件。在安全性和可靠性方面，P 5000反应堆设定了标准。它设计有完整的安全资产，包括压力监测仪、真空锁阀、氢气流量阀和高压排气泄漏检测器。反应堆还设有双轨单步工艺控制器和温控安全关闭模型，以确保工艺稳定性。最终，APPLIED MATERIALS P5000反应堆是生产晶片和半导体材料的先进、可靠和经济高效的工具。它的精确度、吞吐量和精确度相结合,使其成为设计工程师和制造专业人员都非常有价值的工具。