二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9054881 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
已售出
ID: 9054881
晶圆大小: 5"
PCVD SiN System, 5" (2) Chambers Gases: CF4, O2, SiH4, NH3, N2 Currently warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一种高性能反应器,设计用于诸如等离子体蚀刻、溅射和沉积等复杂过程。它提供了广泛的功能和功能,使用户能够创建功能尺寸较小的复杂结构和功能,并以极高的准确性和控制力进行各种实验。AMAT P-5000 Reactor基于平行板系统,允许在同一腔室内处理不同大小的区域,消除不均匀性。反应堆的配置确保了整个表面的最佳蚀刻速率和均匀性。它能够处理尺寸不超过300毫米的样品,其尺寸可以根据用户的需要进行定制。APPLICED MATERIALS P 5000反应堆配有高功率电源,能够对多层材料进行蚀刻沉积。该电源可提供高达5000瓦的功率,允许高吞吐量的过程。反应堆本身的设计提供了很好的温度均匀性和空间均匀性,使其成为沉积过程的理想选择。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor配备了多种传感、监测和控制功能。这些特性允许操作员监控压力、温度和VDF分布,以及ICP气体浓度等其他参数,使他们能够实时控制和调整过程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆是一种用途广泛、功能全面的反应堆,能够满足广泛的用户需求和实验要求。高精度和高性能使其成为寻求对实验进行最大控制的用户的绝佳选择,并且适合高吞吐量应用。
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