二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056591 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
已售出
ID: 9056591
Trench etchers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是专门为半导体生产而设计的最先进的等离子体蚀刻反应器。AMAT P-5000提供了比其前身P3000更高的吞吐量、更快的晶片加载、改进的安全特性和更长的腔室寿命。APPLICED MATERIALS P 5000是一种先进的等离子体蚀刻反应器,具有高度优化的电子回旋共振(ECR)或感应耦合等离子体(ICP)源,为关键半导体工艺提供了优越的蚀刻速率和优越的轮廓。它能够达到高达250 nm/min的蚀刻速率,从而实现高效的吞吐量,缩短流程周期的周转时间。P 5000设计具有先进的安全功能和卓越的排气系统,为环境提供业界领先的保护。干泵设备确保排出的废气持续清洁,并允许室内的低分数氧含量。多级安全管理系统允许反应堆平稳安全启动。此外,车窗门设有安全互锁装置,可防止意外接触低压等离子体。APPLIED MATERIALS P-5000提供卓越的晶圆加载和处理功能。它具有全自动机器人机器,允许快速、可靠和可重复的晶片装卸。机械转移臂消除了有害的人暴露在加工室内,其先进的控制器允许晶片在室内精确对准。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反应堆还通过使用先进的材料和涂层提供了更长的腔室寿命,从而提高了鲁棒性,降低了维护要求。采用的先进材料耐腐蚀、氧化和腐蚀,以确保可靠的蚀刻工艺和较长的使用寿命。此外,AMAT P 5000还包括一个水和氮气射流的高效冷却工具,支持高功率过程和优越的温度控制。总而言之,AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000是一种通用的半导体生产等离子体蚀刻反应器,设计具有优异的安全特性,优化了晶片的加载和处理,并延长了腔室寿命。它提供了更高的吞吐量和更快的工艺周期时间,使其成为满足现代生产需求的完美解决方桉。
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