二手 NOVELLUS CONCEPT 2 #152911 待售

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製造商
NOVELLUS
模型
CONCEPT 2
ID: 152911
晶圆大小: 6"
CVD Nitride system, parts machine, 6" Transfer module with load locks & turbo (2) Cabinets.
NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor是用于先进半导体器件制造的高端等离子蚀刻设备。该系统提供各种蚀刻工艺,用于蚀刻各种材料。它提供了比传统蚀刻系统更好的过程控制和一致性。CONCEPT 2 Reactor是一种多功能反应堆,能够蚀刻多种特性,气体选择广泛。它结合了自动优化过程的智能过程控制(IPC),同时监测蚀刻化学和底物温度。高级电容特性在每次配方设置后恢复均匀性。此外,高容量基板处理单元提供了更高的吞吐量和更好的配方传输时间。反应堆的非磨料加工机也有助于减少蚀刻室壁上的磨损,导致蚀刻轮廓更加均匀。反应堆的其他特点包括实时气体监测仪,允许用户分析过程气体并快速补救任何蚀刻过程问题。此外,高精度石英等离子体源可确保所有基板上均匀蚀刻,无论晶圆大小如何。当缺陷在设计中仍然可见时,自动端点控制功能将停止蚀刻过程。这有助于降低特征崩溃和侵蚀的风险。最后,NOVELLUS CONCEPT 2反应堆内提供的先进蚀刻配方进一步提升了蚀刻工艺的整体质量。通过使用基于客户期望的结果的精确参数,可以实现极其干净和统一的特性。IPC库可用于存储配方和过程变量,允许用户快速复制蚀刻配置文件。总之,CONCEPT 2 Reactor是一种最先进的蚀刻工具,提供改进的资产控制、统一性和吞吐量。其先进的特性使其成为高端半导体器件的理想型号。凭借其精确的工艺配方和IPC库,NOVELLUS CONCEPT 2 Reactor有助于确保清洁和一致的蚀刻工艺。
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