二手 NOVELLUS CONCEPT One #150904 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的、先进的原子层状沉积（ALD）反应器，专为高批量生产高均匀薄膜而设计。反应堆是先进电子产品商业化制造的有利平台。它具有高通量腔室和大基板支架。这样就可以生产各种半导体材料和设备,包括内存设备、弹性体和传感器。ALD是一种先进的薄膜沉积工艺，用于制造电子元件。ALD工艺用于将原子层材料（一次一层）沉积到基材的地形上。这种控制水平允许在大面积上进行极其精确和均匀的薄膜沉积。ALD非常适合生产薄膜晶体管、内存设备、发光器和微机械执行器。NOVELLUS CONCEPT ONE是一个定制设计的ALD反应堆。它每小时可处理多达100个晶圆，能够应用特定的薄膜配方。它提供了一致的晶片到晶片厚度控制，高达0.2nm，以及非易失性内存，以便于过程开发。概念一由四个主要部件组成：反应堆头、反应堆室、计算机控制阀和运输系统。反应器头装有阴极和阳极，用于沉积和控制电流流动。反应堆室是底物所在的位置，包含气体输送系统，该系统将反应物注入该室。阀门控制气体流动，并由计算机监测和调整。最后，运输系统将底物通过反应堆进行超均匀速度和温度控制。CONCEPT ONE能够沉积多种材料，包括金属、氧化物、氮化物，以及广泛的半导体材料如光伏材料、CIGS、CIS等先进半导体材料。这使得能够生产各种先进的电子产品，包括传感器和半导体器件。最后，NOVELLUS CONCEPT One是一种先进的ALD反应器，设计用于高批量生产的超薄膜和均匀膜。它的特点包括高通量、一致的晶片对晶片厚度控制，以及处理多种材料的能力。这使得各种先进电子元件的商业制造成为可能。